屏蔽涡旋真空泵
屏蔽涡旋真空泵主要用途
1、薄膜制备设备、大科学工程与化学分析设备;
2、半导体封装设备等无油抽气系统;
3、分子泵的前级配泵;
4、医疗仪器、生物制品与药品制备设备;
5、食品、药品等包装设备;
6、特气回收、液晶注入设备。
屏蔽涡旋真空泵产品特点
1、泵内无油,可获得清洁的真空环境;
2、低噪音,<52dB (A)3、*水冷,耐轻腐蚀;
4、无泄漏,漏率<1X10-7Pa.m3/s;
5、输入电源220V50HZ,由主控板变频变压。
屏蔽涡旋真空泵产品优势
1、**高加工精度,提高使用寿命;
2、无泄漏、低噪音、体积小、重量轻、适应性强;
3、操作简单、维护费低。